二手 RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #9300364 待售

RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu
ID: 9300364
晶圓大小: 6"
Film thickness measurement system, 6".
RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu是專門針對制造業需求而設計的先進晶圓測試和計量設備。它提供了多用途和無與倫比的測量能力,並且在晶圓檢測過程中在準確性、可重復性和靈敏度方面脫穎而出。該系統利用獲得專利的2D激光檢查----一種檢查晶圓表面地形的方法,它以納米分辨率的非接觸方式掃描表面。這次檢查產生的結果非常準確,使用戶可以遠程觀察和測量晶圓的地形,從而可以進行更一致的質量控制。先進的2D激光技術還能夠快速檢測晶圓表面的像差,如劃痕。RUDOLPH METAPULSE 200XCU具有高效的自動化3D晶片計量單元,具有用於快速測量長度、半徑、峰谷、傾角、不對稱、平坦度、電感和其他晶片參數的集成機器。此工具每秒最多可測量6個曲面,並且符合SEMI M1/M7規範,可快速準確地測量不同晶圓尺寸和形狀。此外,該資產還采用了世界上最先進的SONAR技術,這是一種先進的無損測量和映射晶圓輪廓形狀和表面缺陷的方法,同時測量晶圓的質量。該模型還可用於定量測量、量化和觀察晶圓表面特征,如寬度、厚度和變形。此外,該設備還包括一個高精度、自動化的模式識別和記錄系統,可以快速檢測高精度的模式缺陷,如微裂紋、溝槽、細紋等。該單元還確保其他臨界晶片參數,如平坦度、對稱性、z-tilt、tilt和roundness可以同時監控。此外,該機支持高速數據傳輸功能,允許數據在多個系統之間快速、輕松地共享。此功能將分析和報告所需的時間縮短到幾分鐘,從而大大加快了質量保證過程。總體而言,METAPULSE 200X CU是一種先進的晶圓測試和計量工具,可快速檢測像差、精確和可重復的測量以及高速數據交換。它是滿足制造業需求的理想資產。
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