二手 RUDOLPH MetaPulse 300 #9262861 待售

RUDOLPH MetaPulse 300是一種高精度和全自動晶圓測試和計量設備。它旨在提供有關半導體工藝晶圓均勻性和排泄性的信息。它使用光學頭與先進軟件耦合，快速準確地測量晶圓特性。第一步是將晶片引入測試站，MetaPulse 300在那裏測量其整體厚度和曲率，以及晶片排泄率。然後通過其圖像分析和缺陷檢查程序處理測量數據,以檢測幾何偏差、汙染、雜質和其他缺陷。該系統使用高分辨率光學器件來收集精確的信息，並采用模糊邏輯來完成晶圓狀態的全貌。第二步是評估晶圓的平面度或波浪度。該單元采用獨特的3D振動感測技術，測量晶圓表面的平均輪廓和波浪度。利用它的特征識別算法，它還可以識別出各種各樣的平面相關缺陷，如螺絲、臺階、小球以及模具附著墊的錯位。第三步是測量關鍵輪廓,如針腳、孔和通風孔。此步驟很重要,因為必須確定這些測量結果以確保晶圓的完整性,例如設備之間信號路徑的連續性。RUDOLPH MetaPulse 300的自動特征識別軟件能夠極精確地分析和總結配置文件。第四步是分析晶圓方向和位置。機器能夠檢查晶片相對於支撐面的方向，以確保晶片的正確放置，以便後續處理。使用參考圖像,MetaPulse 300能夠檢測未對齊或變形的組件,以及驗證基準精度。使用RUDOLPH MetaPulse 300,用戶能夠確保精確的晶圓尺寸和條件,從而提高產量並優化工藝。其測量3 D輪廓的能力以先進的成像、缺陷識別和分析技術為後盾，使其成為市場上最可靠的晶圓測量系統之一。