二手 RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu #9353244 待售

RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu晶圓測試和計量設備是晶圓測試和計量的全自動系統。該單元旨在為一系列應用提供精確的晶片結果,如深度剖析、電氣特性、薄膜特性和無損成像。單晶片配置和高度自動化允許機器的高效配置和操作，在短時間內提供高吞吐量的晶片樣品。它配備了一個完全集成的光學子系統，可用於視覺檢查和SEM或TEM成像。該工具采用高級階段設計,以及一整套控制器和驅動程序。控制器套件由模擬/數字處理器（ADP）、基於軟件的控制資產、多模控制器和定量數據采集處理器（QDAP）組成。ADP用於關鍵性能測量,包括電氣和熱測量。它還用於配置和控制模型，其中包括提供必要的識別算法，與真空設備接口，控制輻照系統，測量材料表面，以及向用戶提供適當的反饋。RUDOLPH METAPULSE III 300XCU晶圓測試和計量單元還具有獲得專利的雙光束機（DBS）光學器件,使該工具能夠提供薄膜表征,並以最高精度分析三維（3D）特征。此特征允許對任何大小和形狀的特征進行參考級幾何測量。它配備了方便用戶的筆記本電腦和完全集成的用戶界面板，簡化了用戶對資產控制的訪問。該模型還包括其他功能，如自動晶片放置、自動晶片識別、具有從設備獲取數據選項的模擬/數字處理器、老化功能庫以及配置自定義操作參數的能力。METAPULSE III 300 XCU晶片測試和計量系統是進行快速計量和晶片表面分析的理想工具。其集成的硬件和軟件使其易於設置,用戶友好的界面簡化了對單元功能的訪問。ADV數據分析處理器和雙光束機（DBS）光學器件可提供快速可靠的晶圓測量和表征,為客戶提供可重復的結果。