二手 RUDOLPH Metapulse #9157665 待售
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RUDOLPH Metapulse是一種晶圓測試和計量設備,設計用於監測晶圓在生產過程中的性能和質量。它能夠測量廣泛的特性,如表面粗糙度、線性度、晶片厚度、蝕刻速率、間距和位置精度、圖案精度、臨界尺寸、表面地形、原子密度和表面汙染。該系統利用多種物理和電氣測量和儀器,包括能量色散X射線分光光度法、掃描電子顯微鏡、光熱成像、激光幹涉測量、聚焦離子束成像、臨界尺寸掃描電子顯微鏡和納米掃描電鏡。利用這些工具,RUDOLPH META PULSE提供了晶圓結構的高度詳細的圖像,並以1納米或更高的精度檢測檢查。該單元還具有幾個高級功能,使操作員能夠快速診斷缺陷,並在處理參數影響最終產品之前對其進行調整。這包括提供圖像增強、自動化規則、實時峰谷檢測和輪廓分析的高級缺陷檢測套件。此外,用戶可以快速使用特定於上下文的工具來執行一系列應用,例如曲面分析、模具級計量、層分析、包映射以及應力和應變測量。Metapulse machine)是一種綜合性的、高精度的晶圓測試和計量工具,具有先進的特點,使其適合多種行業,包括微電子、光伏、微機械和醫療設備制造。受保密政策保護,資產還可用於研發,確保以最高效的方式交付最高質量的產品。
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