二手 RUDOLPH MP 200XCU #9250762 待售

RUDOLPH MP 200是一種晶圓測試和計量設備，為IC和MEMS設備提供準確而全面的測量數據。該系統由具有聚焦離子束（FIB）技術的掃描電子顯微鏡（SEM）、激光幹涉儀（Interferom）或激光掃描共聚焦顯微鏡（LSCM）以及集成了用於電路和設備地形分析的硬件和軟件的激光掃描電子顯微鏡（LSCM）組成，以及一個廣泛的用戶友好的自動測量軟件包支持。MP 200旨在滿足現代半導體器件的小型化需求，從電氣、光學、磁性和X射線分析提供了廣泛的分析能力。該單元配備了用於成像、分析和計量的高分辨率SEM。其FIB技術能夠進行電氣測試所需的精確模式修改。激光幹涉儀能夠精確測量晶圓平面度和臨界尺寸（CD）的變化，而共焦顯微鏡提供任意定向設備的3D可視化。對於手動測量,該工具配備了一個多功能探測站,其中包括兩個用於精細對準的4軸級。探測站提供有關晶圓幾何形狀、輪廓形狀和層厚度的定量信息。它提供了一套探測和成像工具，以自動化操作和挑戰尺寸精度的既定標準。RUDOLPH MP 200還包括一個易於使用的圖形用戶界面，允許用戶快速設置復雜的實驗，或者使用直觀的樣本圖像庫模擬測量。此GUI還包括用於數據後處理和報告的許多分析工具,以及用於自定義實驗過程的用戶定義邏輯。總之，MP 200提供了一套全面的測試和計量能力，以滿足現代半導體技術的需求。其強大的硬件、直觀的軟件和用戶友好的GUI為獲取有關IC和MEMS設備的全面數據提供了經濟高效的解決方案。