二手 RUDOLPH MP 300 #9392797 待售

RUDOLPH MP 300
ID: 9392797
晶圓大小: 12"
Metal film thickness measurement system, 12".
RUDOLPH MP 300是一款設計用於半導體工業的高端晶圓測試和計量設備。該系統使用激光計量工具精確測量晶圓參數,以確保制造芯片或集成電路(ICs)的過程保持正常。計量工具包括各種各樣的任務,如控制晶片上模具的對準、測量蝕刻前後晶片的尺寸、電阻器或薄膜的受控失真、有源器件的長度和寬度、金屬線的精確放置以及電性能分析。該單元由光學顯微鏡、電動XY級、掃描電子顯微鏡(SEM)和各種軟件包組成。顯微鏡提供了Macro、Midfield和Micro成像模式,分辨率高達50%低於1納米。這種特性使得機器非常適合計量非常小的特性,如超細金屬互連。XY級可以對晶片進行精確的相對定位,而SEM可以對內部和橫向特征進行更高的放大和成像。除了計量能力外,該工具還附帶了多種軟件包,包括Thermionics、IC測試儀、Theta和Gauss Meter。這些軟件包為缺陷分析、信號分析、故障分析、模型參數比較、統計分析和測試結果報告提供了先進的功能。該軟件設計為用戶友好,具有直觀的圖形用戶界面和易於使用的向導,使數據采集和分析非常簡單。RUDOLPH MP300是一種堅固可靠的資產,專為滿足大批量生產要求而設計。適用於各種芯片制造工藝,從最先進到最基本的要求。該模型由行業領導者制造,由專門的客戶支持團隊提供支持,並具有可靠的可靠性和性能記錄。
還沒有評論