二手 RUDOLPH MP1 #9397713 待售

RUDOLPH MP1是一種獨特的晶圓測試和計量設備，用於挑戰半導體和MEMS制造中的過程控制、高級計量和缺陷檢測應用。它被設計為驗證過程控制和推進缺陷檢測性能的經濟高效的解決方案，以及用於高級研發（R&D）任務的可靠系統，提供高精度晶圓掃描、缺陷表征和自動成像的強大組合。MP1具有廣泛的高級缺陷檢查功能,包括自動晶片處理和掃描、缺陷分類、自動激光測量和成像,以及功能強大的數據分析工具。該單元配備了一個高分辨率的RGB相機，用於捕捉缺陷的彩色圖像，並使用戶能夠通過掃描模式將相機移到樣品上方來放大和縮小晶片上感興趣的區域。這一特征使得能夠表征細微的缺陷，例如那些具有圓形邊緣的缺陷，這些缺陷很難用常規系統進行檢查。RUDOLPH MP1還具有高性能的自動晶圓處理機，旨在確保精確對準並加快測試過程。此工具能夠處理直徑不超過8英寸的晶片,掃描孔徑不超過200 x 200 mm,為測試提供了充足的空間。MP1還提供了一套功能強大的硬件和軟件工具，用於自動缺陷檢測和分類，可用於檢測和分類各種缺陷，如空隙、汙染物、殘留物和地下缺陷。RUDOLPH MP1還提供了一套高級計量功能,使用戶無需專門的工具即可獲得線寬和空間寬度、輪廓高度、Z軸精度和平坦度等功能的可靠測量。這種精密的計量資產可以用來表征晶圓上廣泛的結構特征，如線寬、密度、信號完整性和圖樣特征。總之，MP1是一個先進的晶圓測試和計量模型，旨在提供高效可靠的過程控制、先進的缺陷檢測和表征能力以及強大的計量特征。它配備了一系列先進的硬件和軟件工具，能夠處理各種直徑可達8英寸的晶圓，為測試提供了充足的空間。該設備易於使用，可用於檢測和分類各種缺陷，以及精確測量晶片上的結構特征，使其成為挑戰過程控制、先進計量和缺陷檢測應用的理想解決方案。