二手 RUDOLPH MP3-300A #9401492 待售

ID: 9401492
Film thickness measurement system, 12" 2012 vintage.
RUDOLPH MP3-300A是一種高端晶圓測試和計量設備,設計用於先進的半導體制造工藝。該系統能夠進行臨界測量,包括臨界尺寸(CD)和輪廓,以及一系列其他晶圓參數,如表面粗糙度、表面地形和缺陷分類。該單元基於直接驅動級,具有高精度和可重復性,以及復雜的光學設置。這使得機器測量晶片具有高度的精度和準確性,並提供可重復的結果。MP3-300A具有獨特的四向模式識別工具,使其能夠快速準確地檢測和識別缺陷。這一關鍵階段的檢查過程是由光學和光源組成的綜合工具輔助的,該工具提供有關晶圓表面狀況的形式關鍵數據。然後可以與其他系統和過程共享這些結果,以進一步了解晶圓的狀況。該資產在數據輸出和分析方面也是全面的。提供了一系列選項,例如圖表、圖形分析、直方圖和趨勢分析以及報告,以確保用戶能夠訪問他們需要的所有關鍵數據,以確保高質量的生產和操作。該模型還允許進行各種3D表面檢查。為此,設備包括大量附件,包括專門的檢查頭、級和探針校準,使其能夠對晶片的整體狀況進行徹底和準確的評估。再者,RUDOLPH MP3-300A的大型觸摸屏監視器可以方便直觀的操作。這樣就可以用最小的努力和輸入完成設置,從而能夠快速準確地測試晶片。此外,該系統在生產和吞吐量方面具有靈活性。這是通過一個專用的「作業選擇器」任務來執行的,該任務使設備自動進行可重復運行,以實現最高的效率。簡而言之,MP3-300A是一種高端晶圓測試機,設計用於測量各種參數,精度和精度都很高。該工具可確保快速準確地識別缺陷,並允許復雜的3 D表面檢查和結果分析。此外,資產還提供了一系列功能,可幫助進行設置和操作,從而確保高質量的輸出和最大的吞吐量。
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