二手 RUDOLPH / ONTO INNOVATION MP3-300XCU #9375220 待售

ID: 9375220
Film thickness measurement system Process: Metrology.
RUDOLPH/ONTO INNOVATION MP3-300XCU是一種專門的晶圓測試和計量設備,設計用於精確表征半導體晶圓的表面和厚度。它是一個基於激光的計量系統,具有先進的光學和10納米分辨率,允許精確,非接觸測量到納米尺度。RUDOLPH MP3-300XCU配備了專有的3D計量算法,提供晶圓表面的類似地圖的圖像。其自動掃描過程包括覆蓋整個晶圓表面的多位置XY掃描級和檢測微粗糙度和晶圓厚度的z軸級。該裝置的激光技術賦予其獨特的優勢,如檢測精細的表面特征、精確測量ithlinear特征、測量多級步高、對亞微米特征進行高度剖面測量等。ONTO INNOVATION MP3-300 XCU的軟件既方便用戶又復雜,使用戶能夠輕松訪問各種分析和報告選項。直觀的界面允許用戶以可定制的方式配置其測量參數,訪問存儲的屏幕圖像庫進行比較或分析,並根據實時計量測量的反饋即時修改其設置。借助集成跟蹤機,用戶可以輕松實時監控計量處理活動。利用MP3-300XCU有許多優點。該工具提供了一種成本效益更高、耗時更少的晶片表征方法,並且非接觸式方法消除了損壞細膩晶片表面的風險。先進的計量學還通過捕捉和分析晶片的細微差別,提高產量和性能,促進了產品質量的提高。RUDOLPH/ONTO INNOVATION MP3-300XCU具有基於激光的高端計量功能,是精確測量半導體晶圓的理想資產。其優越的光學分辨率、用戶友好的軟件和全面的跟蹤能力使其成為全面晶圓測試和計量的最佳工具。
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