二手 RUDOLPH S200 #9157249 待售

RUDOLPH S200是一種晶圓測試和計量設備，設計用於研究實驗室、工業和生產測試應用。憑借其創新的設計，能夠以前所未有的精確度精確地測量出薄薄晶片的電阻和電容。RUDOLPH S 200系統具有200 mm AFM 6 MHz、8位精密電流測量頭，支持廣泛的測試電壓和多達16個可重復采樣點。這與專有的2軸晶片調平單元和線性測量時基相結合，允許對薄晶片和厚晶片進行精確和可重復的非接觸測試。該機易於使用的設計還采用了大觸摸屏顯示屏，便於操作。為了提高準確性和可重復性，S200采用了一個負零化過程，在進行測量之前快速、精確地將測試頭設置到其原點。此過程確保晶片對施加電流的響應被精確測量。該工具還具有高速測量資產,它使用高級測量算法來確保所收集數據的精度和可重復性,即使是長期測試也是如此。S 200還具有高性能的光學計量和分析功能,能夠對纖薄晶片進行成像和對無缺陷表面進行詳細分析。采用角度分辨散射顯微鏡的組合，利用亞微米分辨率檢測和精確測量缺陷。此外,RUDOLPH S200還提供最新的晶圓測量,用於蝕刻深度表征和臨界尺寸（CD）測量。總體而言，RUDOLPH S 200為研究實驗室、工業和生產測試應用提供了無與倫比的精確度和可重復性。其創新的掃描頭經過精心設計，以實現最佳的精度和可重復性，而其高端光學計量和分析功能使用戶能夠以無與倫比的精度快速、輕松地檢測和測量表面缺陷和CD測量。