二手 RUDOLPH S3000 #9389592 待售

RUDOLPH S3000
ID: 9389592
Thickness measurement system EFEM.
RUDOLPH S3000晶圓測試和計量設備是一種高端自動化解決方案,設計用於半導體和光電行業的測試和計量應用。S3000系統為快速、準確的測試、計量和分析提供了一個軟件和硬件無縫集成的平臺。該軟件能夠管理、分析和呈現具有最高吞吐量的內聯和自動化生產測試和計量應用程序的數據。RUDOLPH S3000單元具有多軸高通量探測機。該工具可以定制,以適應各種晶圓探測應用,包括探測靜電放電(ESD)、電氣測量、微應力工程、應力測試和半導體晶圓探測測量。該資產還配備了易於配置、完全集成的軟件應用程序,使用戶能夠快速編程測量協議。S3000模型與瑞士制造的精密線性執行器相結合,在X、Y和Z軸上提供精確、低噪聲、低振動的探測運動。這提供了更好的探測精度和可重復性。該設備還具有更高分辨率的3軸敏感觸覺探頭,設計用於高精度測量。位置控制的線性執行器允許系統在任意角度和方向上以精確定義的距離步長穿越晶片,而光學編碼器則可確保在晶片表面上進行精確的非接觸掃描。該裝置配備了先進的成像、測量和分析工具,用於各種基材上的橫截面晶圓測量應用。它具有廣泛的計量和分析算法庫,用於對所有類型的半導體晶片進行映射、檢查、成像和校準過程以及產品幾何。RUDOLPH S3000機支持標準和定制設計的探針卡和模塊以及晶圓適配器和平板電池。它還能夠輕松地與其他領先的桌面計量學系統(如Carl Zeiss MMS 5500)集成。這確保了數據的快速實施和無縫協調。S3000工具是高度可定制的,具有一系列軟件和硬件組件,可以選擇這些組件來滿足許多不同項目的要求。這種高度的靈活性使得RUDOLPH S3000非常適合各種應用,例如測試晶片的電性能、應力和其他特性、計量分析以及對生產過程的監控。
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