二手 RUDOLPH WS 2500 #9096699 待售

RUDOLPH WS 2500是一種高端晶圓測試和計量設備，設計用於提供晶圓參數的精確測量。它是一個全自動系統，具有負載端口，集成晶圓處理，晶圓prober和光學計量單元。WS 2500可用於評估實際設備結構,並對與成品設備的產量和可靠性相關的各種工藝參數進行表征。RUDOLPH WS 2500包括一臺高分辨率/高精度光學計量機，用於測量晶圓上感興趣的特征。計量工具包括具有可變聚焦的精密掃描儀，能夠測量從納米到微米以及非均勻位置的特征大小。資產的分辨率高達0.5 nm,可重復性為0.2 nm。它配備了多種可用於分析數據和設計解決方案的軟件模塊和程序。集成晶圓處理模型旨在確保晶圓的精確定位,並最大程度地減少損壞和浪費。設備裝有雙甲板自動裝載機，允許一次插入兩個晶片，以便快速進入和裝載。除了自動晶片測量程序外,集成的晶片還能夠快速交付晶片。晶圓探測器能夠測量許多參數，如電阻率和表面地形，具有很高的精度。WS 2500是晶圓制造公司的理想選擇,這些公司希望評估工藝參數、診斷和防止缺陷,並確保成品設備的產量和可靠性。該系統也適用於研究機構和希望監測過程和提高產量的大學。健壯的設計和集成的軟件模塊允許各種應用,如表面粗糙度、電氣和光學表征、過程監控、平坦度分析和統計分析。這可用於深入了解過程優化、故障分析、新產品開發等。