二手 RUDOLPH WS 3840 #9198059 待售

RUDOLPH WS 3840是為半導體器件制造、工藝開發和工藝控制而設計的先進晶圓測試和計量設備。該系統提供了廣泛的高度精確的測試和過程控制功能,使用戶能夠有效地檢查和分析其晶圓過程的各個方面。該單元包括一臺具有高速、變焦能力、快速聚焦機動化物鏡的高端計算機控制顯微鏡和一個用於引導顯微鏡和數據采集的交互式軟件包。高質量的光學顯微鏡提供了優越的場均勻性和較少的邊緣畸變，允許最精確的分析樣品特性。光學設計還采用了創新的4x5x10 mm、0.08 μ m遠心鏡頭,即使在極端放大的情況下也能提供前所未有的分辨率和準確性。該機器采用多種自動化測試和計量技術，包括高分辨率成像、自動邊緣檢測、集成光譜成像、高精度衍射成像和廣泛的模式識別算法。該工具還配備了軟件模塊，用於自動校準和選擇聚焦長度、照片尺寸、位置、孔徑大小和聚焦類型等顯微鏡參數。資產提供了對平臺的全面控制，以詳細分析制造過程中的各個步驟，如晶圓檢查、光刻、蝕刻、幹條、濕條和缺陷審查。該模型還提供了幾種快速檢查測試樣品的方法，如叠加計量、模具圖像分級和臨界尺寸計量。該設備著重於在納米級提供精確的測量，即使在處理小特征時也是如此，這在測量和檢查方面可能具有挑戰性。該系統旨在以0.2到0.5nm的分辨率解析細節,使用戶能夠獲得非常準確的結果。此外,該設備的軟件設計用於快速準確的數據采集,最多可同時測試和監控8個晶圓。綜上所述，RUDOLPH WS3840是一種用途極為廣泛、精度極高的晶圓測試和計量機器。憑借其強大的顯微鏡、自動化測試和計量技術以及創新的軟件功能，這款工具是半導體行業精確測量的理想選擇。