二手 RUDOLPH WS 3840 #9392887 待售
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RUDOLPH WS 3840是為對晶圓特性進行高度敏感分析而開發的最先進的晶圓測試和計量設備。該系統受到研究人員的重視，因為它的精確度和可重復性是基於光學和X射線技術的組合。它使用先進的光學和X射線技術對晶片的各種特性進行高分辨率成像和測量，如厚度、線寬、邊緣清晰度和圖案均勻性。RUDOLPH WS3840由計量模塊、prober平臺和軟件包組成。計量模塊由光學顯微鏡、SEM單元、電荷耦合器件（CCD）檢測器和階段定位單元等幾個組件組成。機器的光學模塊使用可見光來觀察高放大倍率範圍內的樣品（最高25,000X），並測量晶圓上特征的輪廓及其位置。工具的SEM單元執行X射線分析，其中電子束被發送到樣品以產生該區域的圖像。CCD探測器從光學模塊和SEM單元產生的圖像中捕獲信息,還可以對晶圓上的特征進行定量測量。最後,prober平臺處理晶片傳輸和樣品處理,使晶片能夠在計量模塊和prober之間移動,從而使接觸墊成輪廓進行測試。資產的軟件包允許數據采集、處理和分析結果。此外，該模型還具有晶圓方向和類型不可知的自動晶圓對準特性，以及改進的舞臺定位精度和重復能力。設備的多重錯誤檢查和校正功能增強了這一點,減少了操作員施加的錯誤。其他功能包括可定制的數據庫技術,允許可定制的數據存儲和長期保存結果。該系統還提供先進的工業級安全和控制功能，包括內置的安全聯鎖和輻射屏蔽。這樣可以確保設備不會對出貨的晶片造成損壞,從而避免代價高昂的損失或損壞。WS 3840是一種高度精密的晶圓測試和計量機器，專為滿足晶圓特征表征的高級研究需求而設計。它在精度、安全性和分析方面提供各種特性和功能，使其成為測量晶片高度敏感特性的可靠和通用的工具。通過將高分辨率的光學和X射線技術結合成一個單一的工具，WS3840能夠以時間敏感和經濟高效的方式提供可靠和準確的結果。
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