二手 SCI FilmTek 2000 #9186490 待售

SCI FilmTek 2000是一款功能強大的晶圓測試和計量設備，旨在提供對一系列半導體和光伏晶圓加工參數的先進、準確的測量。該系統的核心是FilmTek 2000 Unit Core模塊，由強大的多核處理器提供動力。該處理器提供高精度的數據處理,以及對機器的強大實時控制。它可以配置為最多容納八個不同的光學檢查頭。該工具配備了包括可見系統、近紅外光譜（NIR）、掃描電子顯微鏡（SEM）在內的多個先進光學系統。Visible Systems光學封裝包括明暗場光學檢查，測量晶圓反射率和散射角度，以精確測量一系列計量特征，如幹蝕刻殘留物、納米結構均勻性和電子束光刻（EBL）特征。NIR資產用於測量薄膜厚度,而SEM模型允許對材料和工藝進行詳細分析,並可用於測量臨界尺寸。各種抽樣階段可用於測試操作。備選方案包括手工和自動化階段；對於手動階段,用戶可以使用操縱桿或手輪實時調整參數。設備還可以容納兩軸機械級，用於大面積檢查。系統的溫度範圍由閉環PID環控制，確保在最佳條件下進行測試和測量。一個集成的高精度顯微鏡版本，提供高達1微米的樣品參數精度。有多種軟件可用於數據收集和分析,包括ImageJ、STK11和SYNPRO。測試生成的數據可以存儲和分析在機載設備上,也可以傳輸到外部數據庫。SCI FilmTek 2000 Machine Core有多種配置,可根據特定客戶需求和應用程序需求量身定制。它非常適合工業研發實驗室，以及研發和晶圓加工設施。