二手 SEMITEST SCA 2500 #293703674 待售

SEMITEST SCA 2500是一種掩模和晶片檢測設備，用於檢測制造過程中光掩模和晶片內的缺陷。該系統使用自動掃描電子顯微鏡（SEM）來產生樣品表面的骨骼或二次電子圖像。可用於成像、分析、電路檢測、計量等多種應用。該部門提供的成像功能包括靜態和動態成像、高對比度和高分辨率成像、窄角度成像和深聚焦成像。SEMITEST SCA-2500具有高分辨率的階段,即使在最大掃描區域的邊緣,也能以1um的精度進行精細的位置調整。該機器還提供快速縮放功能,允許縮小圖像,以便於檢測需要分析的小型結構。該工具具有自動對齊例程,可消除各種情況下繁瑣且耗時的手動調整。資產還包括定量分辨率映射和自動接口。該模型由標準的SEM元件如電子槍和外耦合檢測器構建，但也包括一個附加的半埋式檢測器，以檢測小型結構。設備可以提供一系列不同類型的探測器，如In-Lens、Secondary Electron和Back-spectrist Electron Detectors，這取決於應用要求。該系統還具有特殊用途的掩碼檢查模式,該模式旨在滿足高通量生產要求。該模式可以自動生成詳細的布局參數，測量電路寬度，識別有缺陷的單元格或短褲，檢測間隙和線緣。該單元可以檢測到各種各樣的表面缺陷，包括光刻分辨率相關缺陷、短褲引起的短褲、開口和間隙、針孔以及嵌入的顆粒。機器還提供各種圖像分析功能。SCA 2500是一種功能強大的掩碼和晶圓檢測工具,可提供對缺陷和其他異常的增強檢測和準確檢測。它是光掩模或晶圓制造過程中質量控制和提高吞吐量的寶貴工具。