二手 SENSYS SMS-2000 #144008 待售

SENSYS SMS-2000是一種晶圓測試和計量設備,專為要求苛刻的半導體應用而設計。它提供了無與倫比的主軸和全局平面,以及卓越的分析和晶片邊緣檢測功能。它采用全自動晶片處理和晶片傳輸系統，減少了人工晶片測試和計量相關的勞動密集型操作。該單元由一臺自動物理和無損晶圓轉換機（WTS）、兩個控制機箱和兩個手動裝卸站組成。該WTS提供精確的運動控制,允許精確和可重復的傳輸測試基板.三個跟蹤級控制點測量狹縫和主軸參數，允許高精度測量晶圓。平面分析和晶片邊緣檢測模塊與WTS集成，測量晶片的全局平面度，識別邊緣損傷或異物顆粒。SMS-2000支持各種計量、成像和測試應用,包括3D非接觸式計量、臨界維度（CD）計量和計量缺陷檢查。它可以評估各種缺陷類型和大小，因此可以用於分析具有高密度內部電路和多重計量應用的IC。再者，由於晶圓匯率快，適合大批量生產先進的微電子器件。該工具具有高分辨率測量資產，可精確表征納米級器件。它配備了增強型光學器件和高功率激光束，允許對來自半導體薄膜結構的衍射受限圖像進行高精度成像。此外,它還支持專有的Multi-Function Analysis,它允許比傳統的單功能分析更快速地進行測量。除了技術功能外,SENSYS SMS-2000還提供了一個強大的軟件界面,便於將模型集成到更高級別的軟件套件中。其方便用戶的菜單提供快速直觀的設備設置和數據分析訪問。此外,還可以將系統配置為創建一系列報告,包括全面的測試結果、摘要統計信息和比較數據。總體而言,SMS-2000是一個特殊的晶圓測試和計量單元.它易於設置,提供精確的結果,並提供前所未有的可靠性。因此，它是要求苛刻的半導體應用的理想選擇。