二手 SHB INSTRUMENTS 110-2 #9203528 待售
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SHB INSTRUMENTS 110-2是一種晶圓測試和計量設備,在一系列應用中為高性能和準確性而設計。其主要特點是全自動化的兩級光學測試系統,可以分析各種晶片類型,從小塊半導體到大面積測試和大面積工藝晶片。該單元由晶片級和計量機這兩個關鍵組件構成,它們是無縫集成的,以創建高效可靠的測試平臺。晶片級作為測試時錨定和定位晶片的手段,能夠處理薄基片。它配備了高精度的電動Z級,在XYZ軸中定位晶片時可以達到亞微米精度。可以將waferauto處理程序添加到晶片級,使其能夠將多達八個晶片移動到測試站上。計量工具執行晶片的實際測試。它配備了高精度顯微鏡、硬件加速傳感器和用於測量缺陷區域、厚度和平坦度的專門軟件。它還能夠檢測非視覺表面缺陷,如非均勻性、非接觸、橋鍵和缺陷模式。資產最多可操作三維(X、Y、Z)同時測試,每秒最多可操作8個樣本。110-2的設計提供精確的結果,重復精度和可重復性分別為0.1 μ m和0.05 μ m。該模型采用強大的自動化數據處理體系結構構建,允許它在需要重置之前連續運行長達一個小時。這種可靠高效的測試設備使用戶能夠快速、輕松地獲得準確可靠的結果。
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