二手 SIEMENS WalkAway 96Si #9231383 待售

SIEMENS WalkAway 96Si晶圓測試和計量設備是一個功能齊全、自動化的在線測量系統,旨在最大程度地提高吞吐量,同時提供可靠的性能和準確的結果。96Si單元結合了高精度的光學測量、先進的缺陷成像和自動晶圓處理，提供了全面的晶圓工藝和檢測解決方案。該機能夠測量長度達930mm、直徑達630mm的晶片，並能同時處理多達6個晶片。該工具具有基於激光幹涉儀和多個散射計量通道的多傳感器光學計量資產，提供高精度的3D表面計量。該96Si還具有一系列缺陷成像功能，包括高分辨率檢查和光學顯微鏡，能夠自動識別和分類各種缺陷，從小至單原子大小的缺陷到最大的常見缺陷。此外，該模型能夠在單個晶圓上定位多達十個網格，共4600針，從而提供高度精確和可重復的晶圓定位和映射。96Si設備完全自動化,提供集成晶片處理、自動缺陷審查和詳細的交叉晶片分析功能。集成熱控制系統可保持樣品溫度穩定,以最大程度地減少高精度測量過程中的失真,同時自動校準過程可確保結果的準確性、重復性和可靠性。此外,該單元能夠與主機計算機接口,使晶片能夠直接傳送到機器或通過輸送機傳輸,狀態監視和警報報告直接生成到主機工具。96Si資產提供了準確可靠的晶圓處理所需的業界領先的自動化和測量功能。該模型旨在最大限度地提高效率,使用戶能夠以最短的設置時間和維護要求對各種自動化例程進行編程。96Si的集成晶片處理、缺陷成像和先進的計量特性確保了準確可靠的測量結果，從而改進了工藝控制、產量優化和晶片質量保證。