二手 SLOAN Dektak 303 Auto II #9124954 待售
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ID: 9124954
Thin film measurement system
Measuring range: 100 A to 1310KA
Vertical resolution: 1A in the 65000A
10A in the 655KA
20A in the 131 Micron
Data points per micron: 0.04 to 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 point programmable or cursor leveling
Maximum sample thickness: 1.75 inches
Sample stage diameter: 6.375 inches
Stylus: 12.5 micron.
SLOAN Dektak 303 Auto II是一種自動化設備,設計用於測量各種半導體器件的步高。這種用途廣泛、成本效益高的系統配備了先進的光學顯微鏡和數字成像能力,能夠精確測量從接觸剖面到半導體基板平面的垂直運動。該裝置能夠以高精度測量高達一微米的特征尺寸,非常適合測量各種厚度和基板中晶片的步進高度。該機采用配有遠心物鏡和傾斜相機支架的光學顯微鏡,為用戶提供晶圓表面的高放大倍率視圖。鏡頭設計為將接觸點的清晰圖像投射到圖像平面上,同時最大限度地減少圖像失真和光學像差。此外,該工具還利用雙軸計算機控制的自動對焦資產,確保準確測量每一個特征。整個模型通過圖形用戶界面(GUI)使用彩色顯示器、鍵盤和鼠標輸入操作。這種直觀的設計為用戶提供了對測量過程中所有精度步驟的控制,包括階段移動、z高度校準、傳感器校準和聚焦。此外,該設備還包括用於跟蹤、測量和分析樣品基板上不同位置晶片的軟件算法。Dektak 303 Auto II還配備了高分辨率CCD成像標線,提供了樣品表面的精確視圖,使用戶能夠以高精度測量步高。標線的可調位置可以讓使用者控制視野,使其適合廣泛的基板和尺寸。此外,系統能夠存儲每個字段多達256個測量值,從而實現重復測量並減少收集數據所需的時間。總體而言,SLOAN Dektak 303 Auto II是一種有效的晶圓測試和計量工具。該單元結合了先進的光學顯微鏡和數字成像技術,非常適合以高精度和重復性測量步高。其直觀的圖形用戶界面和可調節的標線使機器人性化,易於操作,適合廣泛的應用。
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