二手 SOLARIUS LaserScan 300 #293596806 待售

SOLARIUS LaserScan 300
ID: 293596806
Laser profilometer Upgraded to laser scan system.
SOLARIUS LaserScan 300是一種晶圓測試和計量設備,為半導體器件和工藝開發提供快速、準確、非接觸式計量。該系統基於完全模塊化的設計,提供了非常高的性能水平。該裝置在納米級提供精確度,能夠測量小於100納米的特征。這使得機器非常適合測量高級結構,如超淺連接、3D結構和地下缺陷。其高分辨率成像能力提供了底物特性及其特性的全面視圖,可用於識別缺陷、優化工藝和提高產量。該工具配備了高速、高分辨率掃描儀和雙光束激光束源,提供了以非凡的速度和分辨率測量特征的能力。它具有超高精度的計量功能,可用於掃描電子顯微鏡和光學圖像,如深度剖析、電壓測量和相位對比成像。LaserScan 300還包括創新的數據分析功能,為識別缺陷、參數和去除效果提供了強大的工具。該資產還結合了超低型晶片堆叠模型,允許快速的樣品變更和高吞吐量測試。此外,此設備還包括用於控制每個示例的樣本處理、設置和元數據管理的軟件。這樣就可以提高操作員的安全性,同時提供整個過程中每個階段的完整文檔和可追蹤性。SOLARIUS LaserScan 300是半導體行業人士的理想解決方案,為晶圓測試和工藝開發提供了經濟高效、可靠的選擇。其高性能、快速的數據采集和無與倫比的準確性使其成為最先進的晶圓測試和計量要求的傑出選擇。
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