二手 SSM 150 SRP #96656 待售
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SSM 150 SRP是一種精密的晶片測試和計量設備,設計用於快速準確地收集有關晶片物理和電氣特性的高級統計信息。該系統采用高性能掃描電子顯微鏡,內置多通道光譜儀,一次操作即可實現精確成像和化學分析。該設備結合了強大的硬件、軟件和獨特的成像技術,可同時掃描每個晶圓多達1000個站點,分辨率低至50 nm。它使用戶能夠測量掃描區域的精確物理參數,包括其組成、表面地形和缺陷,以及電性能,如薄片電阻和泄漏電流。此信息用於創建每個晶片性能的詳細說明,並優化流程以提高效率和產量。此外,該機配備了一種專有的自動聚焦算法,在晶圓曲率和汙染不同的情況下保持成像質量,顯著提高了結果的準確性和可靠性。此外,集成的多通道光譜儀能夠從電子束收集臨界光譜數據。來自電子束的光譜信息可以用來建立一個原子級圖象,說明在原子級發生的事情,包括元素組成和缺陷表征。150 SRP能夠在高真空條件下運行,並具有可延長運行時間的集成冷卻工具,從而提高了測試的可靠性和可重復性。此外,它還具有快速的數據采集速率、直觀且用戶友好的界面,並包括可選的外部組件(如探測器和操縱器),以進一步擴展設備的測試功能。總體而言,SSM 150 SRP是一種可靠且用途廣泛的晶圓測試和計量資產,可以快速準確地收集高級統計信息。它的功能使用戶能夠測試各種材料和設備,從而優化流程並提高產量。
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