二手 SSM 470i #9157376 待售

SSM 470i晶圓測試和計量設備是一個綜合系統，旨在提供對半導體和相關材料的高精度、可重復的測量。它由三個主要組成部分組成：光學檢測裝置、測試夾具和集成數據采集單元。光學檢查裝置使用多種顯微鏡和放大鏡來識別缺陷，分析晶片表面的細微特征，如線寬、蝕刻深度、表面應變等。這是通過記錄來自晶圓的采樣區域的圖像，然後應用軟件算法來準確分類和量化特征來完成的。測試夾具設計用於將樣品晶片精確定位到光學檢測設備上,並提供集成的加熱/冷卻功能,以實現最佳成像條件。使用步進電機和微型定位器，夾具還能夠確保樣品晶片相對於顯微鏡的精確對準。集成數據采集機負責捕獲和存儲獲取的數據，這些數據最終用於工具生成的計量報告。數據采集資產還包括用於設置參數、控制模型和分析獲取數據的內置軟件工具。綜合起來，470i晶片檢測計量系統的光學檢測裝置、檢測夾具、集成數據采集設備使其成為故障檢測、晶片檢測、計量分析等功能強大、可靠的單元。通過其高精度和重復性，該機能夠產生精確、一致的測量結果，可用於關鍵的下遊過程，如優化工藝參數或產量分析。