二手 SSM 490i #9407979 待售
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SSM 490i晶圓測試和計量設備是半導體器件和材料無創測試和計量的集成工具。該系統結合了光學計量學和基於COTS的傳感器,對晶圓材料進行全面分析,具有很高的精度和精確度,測試每個晶圓的尺寸、應力和性質。490i適用於測試和計量應用,從過程效率測量和檢測閾值測試到材料識別和表征。該單元包括先進的光學計量技術,用於測量和檢查精確度小於一納米的納米分辨率的晶圓。這種納米分辨率計量方法使研究人員能夠量化物理和化學過程對晶圓薄層材料的影響。此外,機器還可以測量晶圓上各薄層的應力.SSM 490i的基於COTS的傳感器可以確定晶片的臨界尺寸;這種非侵入性方法對設備表征和生產高可靠性、經濟高效的設備非常有益。該工具的高級成像功能還使高分辨率成像能夠檢測缺陷並監控過程產量。它可以提供晶圓在其整個直徑上的表面紋理和粗糙度的詳細表征。490i專為準確性和可靠性而設計,減少了收集數據所需的時間。該資產使用自動化數據收集,通過快速推斷幾個測量參數的結果來簡化和加快測試和測量過程。此外,該模型還包括一個基板支架,使其能夠測量高達15毫米的晶圓厚度,精度小於5納米。SSM 490i晶圓測試和計量設備是用於各種測試和測量應用的先進工具。其光學計量學和基於COTS的傳感器使設備測試和材料表征具有高精度、準確性和速度。它是為可靠性和效率而設計的,以實現高質量的工藝產量並減少上市時間。
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