二手 SSM 495 #293796070 待售

SSM 495是一種晶圓測試和計量設備，設計用於微電子制造設施。該系統具有晶圓檢測、計量和過程監控的子系統組合。對於晶圓檢查，該單元包括高分辨率成像能力，以及缺陷審查和分類能力。這允許用戶快速識別和分類晶片缺陷，以及為缺陷匯提供觸發機制。該機還結合了掃描電子顯微鏡（SEM）和聚焦離子束（FIB）成像功能，允許用戶在詳細水平上檢查缺陷。在計量方面，該工具提供了多種不同類型的測量，可用於評估晶片的電氣、機械和光學性能。這包括電阻、電容和功率等電性能，以及反射率、吸收和透射等光學性質。它還包括高度、距離和寬度等自動晶圓幾何測量的功能。資產還包括一系列圖像表征和分析工具，以進一步洞察晶圓特性。最後，該模型包括了一些具體的過程監測功能，包括晶圓溫度的實時測量、晶圓結構參數以及設備性能監測。這使用戶能夠確保滿足最佳流程條件,並快速識別偏離所需值的情況。設備還可以與離線流程數據分析相結合,以評估各種流程參數和指標。總體而言,495提供了一個用於分析和表征晶片的集成系統,使用戶能夠快速準確地識別過程缺陷和潛在解決方案。全面的成像、計量和過程監控功能提供了廣泛的靈活性和優化,使用戶能夠最大限度地提高其生產環境中的晶圓產量。