二手 SSM 6100 #9055345 待售

SSM 6100是為半導體器件制造而設計的晶圓測試和計量設備。它允許在5「或6」晶圓上動態光散射、橢圓偏振和總內部反射光譜。該系統采用高靈敏度的科學級光學，提供最先進的圖像和數據采集能力。該單元包含一個安裝在密封外殼中的輕型隧道。這使得來自測試區域的光被聚焦成高度敏感的光譜儀。隧道還有助於減少與常規顯微鏡相關的雜光和熱噪聲。用戶可以將機器配置為對薄至0.005mm的材料進行無損檢測。此外,x-y級的最大采樣面積為161.2mm x 177.8mm,精度為0.002mm。6100提供晶圓表面的高精度數據采集。它具有廣泛的光源，包括LED、高功率激光和鹵素燈泡。這些源中的每一個都是為了高效地以高分辨率測量物理特性而設計的。該工具的讀取速度高達每秒10,000個讀數。它還提供了高信噪比，使用戶能夠捕捉到高度精確的測量結果。資產提供各種分析功能。它包括一個強大的圖像處理算法，用於渲染沒有明顯失真的圖像。SSM 6100的軟件提供多層次的分析,包括多散射、集成分析和多圖像關聯。這允許用戶精確測量薄膜厚度和表面粗糙度。總而言之，6100的設計目的是為半導體器件提供準確可靠的測試。它提供先進的光隧道設計、高精度光譜儀和一套分析功能。這使用戶能夠快速準確地測量晶片上薄膜層的物理特性。