二手 SSM / SOLID STATE MEASUREMENTS 470i #9412433 待售

ID: 9412433
CV Measurement system.
SSM/SOLID STATE Measurements 470i晶圓測試和計量設備是集成電路、MEMS元件和晶圓級封裝計量測試的先進工具。它結合了亞納米分辨率的自動化光學、掃描電子顯微鏡(SEM)和微操作能力以及尖端模式識別和數據分析技術。通過結合這些特性,系統提供了對各種半導體材料和器件進行快速準確分析的最全面平臺。SSM 470i設計有一個較大的晶片處理區域,可以容納許多晶片位置、掃描區域和取樣方向。該單元還配備了自動聚焦元件,可對其進行編程,使每個樣品都能精確聚焦,從而能夠分辨出0.5微米以下的特征。集成的7百萬像素數碼彩色相機進一步增強了機器捕獲數據的能力,而自動膜對準功能有助於確保在各個方向上的精確測量。SOLID STATE MEASUMENTS 470i配備了一系列自動化的測量工具,允許精確的晶圓測量和計量操作。這些工具能夠精確測量晶片的關鍵物理特性,包括整體特征尺寸、表面粗糙度、光學平坦度和電子束分辨率。該工具的軟件還包括先進的光學數據分析算法,用於分析用於精確非接觸高度測量的原始數據。對於精確的平面內元素計量,470i資產輔以一系列自動掃描探針顯微鏡工具。這些工具為各種2D、3D和納米尺度測量提供精確的結果。該模型還包括先進的模式識別算法,便於對材料樣本進行精確的元素分析。SSM/SOLID STATE MEASUMENTS 470i所做的高度精確的光學和SEM測量使用戶能夠以無與倫比的精度分析關鍵設備和組件的性能。通過將先進的微操作能力納入其設計,設備還有助於提高包裝和晶圓級探針的精度。綜上所述,SSM 470i晶圓測試計量系統是對集成電路等半導體材料微觀尺度特征進行精確快速分析的先進、全面的解決方案。
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