二手 SURFTENS OEG #9043976 待售

SURFTENS OEG是一個專門的「晶圓測試和計量」系統，用於檢測制造過程中半導體晶圓上的介電粒子汙染。它利用光發射光譜法檢測、分類和繪制異常高分辨率的汙染顆粒。半導體晶片的檢測是裝配和制造過程中的一個關鍵步驟，檢測和盡量減少可能損害性能的缺陷至關重要。OEG旨在拍攝晶圓表面的高分辨率圖像，然後分析這些圖像以檢測任何缺陷。具體而言，系統利用OES光譜進行粒子識別和制圖。本分析根據紅外輻射下的光譜發射檢測由導電、絕緣或半導電材料制成的粒子。分析結果隨後在粒子圖中表示，顯示了不同類型粒子在整個視場中的濃度。這些粒子圖可用於識別汙染區域，然後可以進一步分析，以確保可靠晶圓生產的最高產量。系統的準確性和分辨率使得它特別有利於檢測難以發現的缺陷，如混合。這種情況發生在汙染顆粒的集中區域難以在單個圖像中檢測到的情況下，但可以通過在OES分析中對顆粒大小和成分進行分類來識別。這使得提高產量和節約成本成為可能，因為減少了清除汙染的清潔步驟的需要。SURFTENS OEG的總體好處是能夠以最高的精度和分辨率檢測和分類顆粒汙染，在過程中節省時間和金錢，同時保障最高質量晶片的生產。其OES光譜法提供了快速準確的詳細信息，有助於確保過程結束時的優質產品。