二手 TABER 5135 #9081963 待售

TABER 5135是一種晶圓測試和計量設備，用於測量晶圓處理過程中集成電路的電氣和物理特性。它采用精密激光幹涉法精確測量晶圓的厚度、輪廓、平坦度、臨界尺寸和平面度。此外，它還配備了多路復用器、短路/開路測試儀和二極管/LED探針等各種電氣元件，這些元件允許從元件級一直到整個晶片測試電氣特性。5135系統靈敏度高、精度高、堅固耐用，設計用於晶圓制造或研發實驗室的工業用途。它配有高分辨率相機和空間光調制器（SLM），可以捕捉晶圓的形狀、圖案和表面。SLM還用於將結構化光投射到晶圓上,提供有關表面地形的信息,然後將其用於以高精度生成圖像。TABER 5135還具有多路復用器通道和二極管/LED光探針測量功能。這可以進行電阻、電容、電壓和電流等電氣參數測量，甚至是測量信號響應、信號噪聲和信號完整性的多功能分析儀。其他電測量能力包括阻抗測量和瞬態電壓/電流測量。此外,該單元還可用於晶圓級燃燒測試、元件和電路級測量以及開放/短測試。5135是一種用途極為廣泛的機器，可以容納多種測試場景。它有一個功能強大的軟件套件，允許自動設置和測試，還包括用於表征、校準或故障分析的高級圖像分析功能。該工具還提供靈活的數據分析功能,允許用戶輕松存儲、分析和報告結果。最終，TABER 5135代表了一個強大的、最先進的晶圓測試和計量資產。它的設計目的是提供可靠和準確的測量，同時盡量減少操作員的監督，使其成為晶圓制造實驗室或研發應用的理想選擇。其強大的成像和電氣測試功能為晶圓表征提供了一個多功能的解決方案,其靈活性和可擴展性使其成為晶圓生產過程中不可或缺的一部分。