二手 TAKAKI TBS-3011 #9352186 待售
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TAKAKI TBS-3011是一種頂級晶圓測試和計量設備,旨在滿足半導體研究和生產的需求。其載荷端口最多可處理300毫米(12英寸)晶圓。TBS-3011具有高精度、高速的視覺系統和半自主功能,可幫助簡化半導體生產過程。檢驗和計量是半導體生產過程中的關鍵組成部分。TAKAKI TBS-3011提供全方位的檢驗和計量能力,以確保最終產品的最高質量。柔性平臺可以高精度、高分辨率地檢測顆粒、表面缺陷等工藝誤差。此外,它還可以檢查水分、氧化和其他可能影響半導體器件性能的汙染。TBS-3011還配備了幾個先進的傳感器,以滿足精確的檢查需要。其渦流傳感器甚至可以檢測到最小的裂紋和斷裂,而其電容式傳感器則可用於檢測表面異常。圖像處理系統可以快速準確地自動檢查樣品晶片,內置軟件包可以幫助進一步自動化過程。為滿足計量需要,TAKAKI TBS-3011配備了一套先進技術來測量晶圓圖案的形狀和大小。它可以測量螺距、凸點計數、線寬和步高,以及曲率、均勻度、叠加度和圓度。通過使用麥克風、激光和光學傳感器,所有測量都是精確和可重復的。TBS-3011配備了所有必要的硬件和軟件,以便在樣品到達後立即開始檢查和計量。該單元提供直觀的操作與數據分析和導出工具,以確保準確和可追溯的過程。再者,健壯可靠的機器可以全天候執行,無需任何人工幹預。總之,TAKAKI TBS-3011是一種功能強大、用途廣泛的晶圓測試和計量工具,旨在滿足半導體研究和生產的嚴格要求。具有靈活的檢驗和計量能力、高精度的測量以及可重復的性能,可以在確保產品質量的同時節省生產過程中的時間和金錢。
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