二手 TAMAR Waferscan 300 #293636438 待售

ID: 293636438
Profilometer.
TAMAR Waferscan 300是為生產環境設計的綜合性晶圓測試和計量設備。該系統在測量和分析半導體晶片時具有很高的精度和準確性。它具有高分辨率掃描級,可精確捕獲小幾何特征,如鰭寬和柵極長度,以及用於檢測設備微結構的高分辨率光學系統。該單元包括一個高度可靠和精確的激光幹涉儀,它提供晶圓表面的精確測量。通過與先進圖像處理算法的集成,準確地分析和測量了晶圓表面的地形。一種自動檢測算法通過檢測由於表面激光散射造成的測量或數據點的潛在誤差,進一步提高了精度。TAMAR機利用電動光學變焦,使用戶可以快速調整光學工具的放大倍率,以便觀察和分析不同的區域。它還具有一個高品質的CCD相機,以極高的精確度捕捉圖像。該資產還包括一個多用途監視器,供用戶查看測量結果和圖像分析。Waferscan 300還提供了檢查i-line和KrF薄膜的功能,並且能夠測量設備層的厚度。此外,該模型還可以精確分析光刻膠厚度測量結果,使用戶能夠確保尺寸和特征分辨率在公差範圍內。自動光學對準程序為用戶提供了一種簡便、準確的方法來快速實現設備光學器件的理想對準。此精確對齊功能在生產環境中非常有價值,因為它可確保在盡可能短的時間內獲得準確的結果。該系統還可以測量晶片表面的平坦度,使用戶能夠準確識別和解決影響設備質量的潛在問題。最後,該部門提供了一系列數據分析工具和報告功能,使用戶能夠快速提取統計數據並快速做出明智的決策。
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