二手 TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO #9012955 待售
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ID: 9012955
Profilometer
Parameters: Ra
Traverse speeds: 1mm/s for measurement, 0.25mm/s for recording
Measurement ranges: 0-9.99 and 0-25μm, 0-999 μin Ra
Readout: Digital; liquid crystal display
cut-off values: 0.25, 0.8, 2.5 mm (0.01, 0.03, 0.1 inch) 0.8mm(0.03inch) over the full 25mm (0.98inch) traverse
Height of digits: approx. 6.5mm (0.25 inches)
Standard traverse lengths: Nominally 5X selected cut off + 0.5mm i.e. 1.75, 4.5, 13mm
Display: Four digits, decimal ("E") and measuring sign (---)
Output for recording: 10mV/μm on 99.9μm range
100mV/μm on 9.99μm range 1mV/μin on 999μin range
Minimum load impedance for recorder output: 10k
*Overall accuracy of Ry (RmaxDIN) & Rtm (RzDIN) measurement: To within 2% of reading +/- 1 unit in the least significant decimal.
TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO是為精確測量和檢查晶圓表面而開發的自動化3D表面測試和計量設備。該系統是基於龍門的數控表面剖面儀,利用電容位移傳感器進行手動和自動操作。它專為研究、開發和生產實驗室而設計。Surtronic 3 CPO的關鍵硬件部件包括線性位移測量單元、變速掃描能力、1,250 mm x 1,250 mm級(即橫越區域)和1,200 mm z軸行程高度。它還具有1軸、3軸和5軸自動對齊和可重復性的功能。此外,還配備了集成級編碼器和移動LED光源,用於測量重復性和改進特征檢查。特定於示例的顯示使用戶能夠查看曲面輪廓和關鍵特征信息,以及其他曲面特征,如平坦度、凸起高度、波紋和波浪長度。TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO能夠在X、Y、Z軸方向上通過輪廓、表面掃描或晶圓測量來測量。此外,機器還可以測量總曲面表單誤差(TSFE)或總跳動(TIR),並以2D圖形或3D曲面映射的布局顯示結果。Surtronic 3 CPO的高級軟件還促進了自動化報告和數據分析,使其成為研究、生產和質量保證應用的理想選擇。在操作方面,TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO具有高達15 μ m的高精度線性精度,能夠在各種樣品和探頭設置下操作。此外,結合高分辨率、多通道激光線三角測量傳感器,結合專利技術線掃描方法,以極高的精度測量表面特征。為加強環境保護,Surtronic 3 CPO采用密封幹式測量室和連續反饋控制機制,以保持空氣的軸向濕度和溫度水平。總體而言,TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO非常適合晶圓測試和計量操作,包括研究、開發和制造操作。該工具配備了廣泛的功能,便於設置和精確測量,並具有可重復性和可靠性。
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