二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactrus NCCP #9374709 待售
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ID: 9374709
Etcher, 12"
Mainframe
(2) Chambers
CIM:
E84
SECS / GEM
GEM300
Interface A
Handler:
Vacuum transfer module
Loader module
Loadlock module
(5) FOUPs
Hardware configuration:
(4) RF Generators
AC Power rack
Pump rack
(4) Pumps
(4) Chillers
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactrus NCCP是一種晶圓測試和計量設備，設計用於在各種不同的工藝節點、應用和測試類型上提供準確、可靠和可重復的結果。該系統旨在為流程和產品監控提供靈活、經濟高效的解決方案,並具有多種功能,可幫助管理、跟蹤和分析流程結果。TEL Tactrus NCCP利用高端光學和電氣測試模塊以及一套全面的計量選項,這些選項可以定制以滿足特定的客戶需求。該單元能夠測量電阻、電容、瞬態、瓦數、電流泄漏、圖樣和蝕刻均勻性等一系列參數。TOKYOelectronTactrusNCCP特別適合於半導體晶圓性能的高分辨率、高精度測量。該機也非常適合過程控制應用，能夠監測介電擊穿、柵極氧化物和柵極氧化物傳導。此外，Tactrus NCCP可以測量接觸模式的叠加精度和對比度，以及差分電容。TEL/TOKYO ELECTRON Tactrus NCCP提供了多種測量和分析特定工藝點的選項，包括多個成像FOV。這為用戶提供了靈活性,因為它允許映射特定的過程步驟,以便更好地了解整個制造和測試過程。TEL Tactrus NCCP包含容易與FEM等其他系統整合的軟體。這使用戶能夠訪問功能強大的數據分析工具和功能強大、用戶友好的圖形用戶界面。此外,該工具還支持多個用戶配置文件和訪問級別,以幫助管理多個測試人員和項目。TOKYO ELECTRON Tactrus NCCP是一種高度可靠的資產，旨在吸引各種市場。這是由於其高質量的組件、卓越的準確性和可重復性、先進的電氣和光學測試能力以及針對過程控制應用的高嚴重性測量而實現的。Tactrus NCCP是晶圓測試和計量的理想選擇。
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