二手 TFM TFM-100 #9252380 待售
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ID: 9252380
Coating and thin film thickness analyzer
Thickness range: 0.5 - 100 um
Wavelength range: 350 - 1,050 nm
Spot size: Approximately 4 mm
Repeatability (x10): < ±0.001 um at 1 um SiO2 on Si wafer
Light source: Tungsten halogen 1-6 W
Sample stage: 20 x 20 cm
Dimensions:
Detector: 22 x 22 x 7 cm
Light source: 12 x 17 x 5 cm
Scope: 20 x 20 x 17 cm
Power supply: 12 V, 1 A.
TFM TFM-100是一種機器人晶圓測試和計量設備,由TFM公司設計制造。該系統能夠有效地測量和分析半導體晶片的物理屬性,如平面和球面的尺寸和半徑,以及其他參數,如現場特異性排便。TFM-100包括三個主要組件-主機、檢查頭單元和軟件。大型機高44英寸,采用鋁和復合塑料結構。無框緊湊的設計有助於為設備的內部部件提供安全的空間。檢驗頭單元是一個二維的空氣軸承編碼器,分辨率為10納米,允許快速無振動掃描。此外,機器以手動和自動兩種模式運行,允許用戶相應地定制功能和準確性。該工具還帶有幾個軟件選項。Inspection Software Suite有40多個不同的應用程序,每個應用程序專門測量和分析適當的物理屬性和缺陷,以便對晶圓進行詳細分析。該套件還具有獨特的測試功能,如缺陷檢測、雙重繪圖和用戶定義的警報,使用戶能夠快速準確地檢測任何潛在問題。此外,TFM TFM-100使用ZAxis 2000控制器,並使用高速模式發生器TMS-146對其進行優化。這種組合使TFM-100能夠快速分析不同的材料,準確測量幾何形狀。資產不需要龐大的路徑和儀表,因為它直接安裝在機械臺上,從而節省了寶貴的資源和空間。TFM TFM-100也可用於多個晶片測試,因為大型機最多可容納五個晶片,可以快速掃描分析。此外,該模型還配備了多種功能,以保護設備和晶片免受潛在的損壞。它還配備了故障檢測和診斷功能,因此用戶可以快速有效地解決任何潛在問題。TFM-100提供了有效和可靠的價值,因為它已經在世界各地的實驗室進行了測試和檢查。由於TFM TFM-100的精度、可靠性和魯棒性,它是測量和分析晶片的理想解決方案。
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