二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9105608 待售
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ID: 9105608
晶圓大小: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Fan: Clean Air Products P/N: CAP109BH
(1) Diffuser, Large
(1) Diffuser, Small
(2) Monitors
Printer, P/N: P-90W
(1) AC Power Conditioner, P/N: 012-007
(1) Monitor Chase Video
(1) Brooks PRI Robot
Input: 1Ø, 110V, 50/60Hz, 7.5/10A.
THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 2600B是一種晶圓測試和計量設備,設計用於半導體過程中晶圓質量和均勻性的快速無損測量。該系統結合先進的光電傳感器和掃描/成像光學器件,能夠檢測晶圓特性中最小的差異。Optiprobe 26000B的主要特點包括:高精度和可重復的光學測量,分辨率高達1.3 µm,非接觸式紅外成像,以及在線實時過程反饋。它使用CO2或YAG激光照明光學器件來測量RMS、表面粗糙度、平坦度和臨界尺寸。該單位可以精確測量晶片的位置、缺陷覆蓋百分比和排空水平。Optiprobe 26000B先進的粒子檢測機精確測量晶片上的顆粒數量,以確保晶片質量和表面性能的最佳。THERMA-WAVE OPTI-PROBE 2600-B是為半導體制造市場設計的,是任何加工過的晶圓表征工作站的理想附件。它可以很容易地集成到現有的測試和過程控制系統中。其遠程診斷功能允許同時進行故障排除和修復,確保最小停機時間和最大的實驗室工作效率。該工具在LINUX和UNIX操作資產上運行,支持Windows和Macintosh環境。其可升級軟件允許輕松定制和與現有機械集成,並支持多種第三方硬件和軟件組件。它還具有開放式體系結構,可以輕松集成Windows NT、Alpha和LabVIEW等多種流程控制系統。OPTI-PROBE 2600 B是任何尋求可靠準確晶圓測試和計量的芯片制造商的完美解決方案。其堅固的設計和特點使其成為晶圓制造必不可少的工具。
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