二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690 #293824685 待售

ID: 293824685
Film thickness measurement system.
THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 2690是一種晶圓測試和計量設備,設計用於半導體器件檢測和過程監測。該系統由光電探針單元(OEP)和熱波單元(TWS)兩部分組成。OEP由一個高度敏感的光電探頭組成,用於在5 μ m至10 mm範圍內進行非接觸式電氣測量。TWS提供快速的溫度上升或熱波測量,可幫助確定集成電路(IC)是否正常工作。OEP利用具有長工作距離目標的CCD相機來測量晶片的光學和電氣特性。與OEP結合使用二極管激光器測量電阻,同時還可以對IC和介電層進行光學檢查。這臺高度靈敏和健壯的機器可以在幾秒鐘內檢測到潛在的IC故障,如缺少的通氣、破裂的鍵和短褲。OPTIBE 2690還具有熱波工具,該工具使用脈沖激光誘導晶圓溫度升高,並測量產生的光信號。該資產能夠檢測不同類型的IC缺陷,包括熱點、泄漏、短褲和焊接質量差。一系列傳感器和信號調節組件被納入TWS,以進行準確可靠的測量。THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 2690是故障分析、過程監控和設備性能評估的理想解決方案。它是一種高效、經濟高效且無侵入性的測試解決方案,能夠檢測IC和晶片中不同類型的電氣、物理和機械故障。此外,它的自動化操作確保了快速一致的測試過程,從而消除了人為錯誤的可能性。
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