二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240 #9111927 待售
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ID: 9111927
優質的: 1999
Film thickness measurement system
BPR, BPE, AE, SE, BB, SM
1999 vintage.
THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 5240是一種晶圓測試和計量設備,設計用於半導體器件的精確測量。它具有先進的光學成像平臺,能夠檢測和精確測量接觸/粘合墊,並為晶圓級評估提供高吞吐量。該系統提供亞微米分辨率和精度,允許無損檢測和關鍵裝置特性的精確分析。該單元利用先進的3D掃描技術,允許從晶片表面收集詳細信息,從而能夠精確測量關鍵尺寸,如粘合墊高度、直徑和接觸電阻。此外,該機還采用了抗反射塗層技術來減少晶片的過度暴露,從而獲得準確和可重復的結果。OPTIBE 5240配備了高分辨率數字成像工具,能夠測量關口厚度、閘門深度、接觸尺寸、接觸金屬化、裝置掩模對準等關鍵參數。該資產還能夠識別晶片中的關鍵缺陷,如針跡、空隙和其他高長寬比缺陷。THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 5240型號還配備了全面的計量軟件包,可以讓用戶進行線掃描、全景和3D成像。該軟件還包括顏色編碼的圖形用戶界面,允許用戶快速識別和分析測量結果。設備還配備了自動調諧能力,便於與生產線測試設置進行集成。此外,OPTIPROBE 5240還配備了高效電動機,可快速準確地進行掃描,並具有自動對焦功能,可確保最佳成像效果。該系統還包括各種用戶可定義的設置,包括數據采集速度和圖像校準選項。該設備具有生成準確和可重復測量的能力,並具有最小的停機時間和降低的機器成本。此外,它還具有直觀的用戶界面和診斷輸出,使其成為大批量生產的理想選擇。
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