二手 THERMA-WAVE Therma-Probe 420 #9238862 待售

THERMA-WAVE Therma-Probe 420是一種晶圓測試和計量設備，使用光學3D映射提供晶圓高度、寬度和深度的全面測量，用於半導體生產中的質量控制。Therma-Probe 420提供精確的3D掃描數據,每個晶圓在不到3秒的時間內可獲得高達2000萬點的掃描數據。它以納米尺度分辨率精確測量地形和其他特征，能夠獲取分辨率為0.5 µm x 0.5 µm的數據。單發地形掃描提供了快速、可靠的表面特性測量和缺陷檢測。Automated Geometry測量可校準和補償晶圓地形,從而確保數據在所有測量中都是一致和可靠的。測量平坦度和圓度等參數的軸是完全可編程的,允許在每個獨特的生產環境中具有靈活性。THERMA-WAVE Therma-Probe 420的軟件應用提供了完整、詳細的3D地形圖像分析。系統的直觀軟件和可視化使操作員能夠快速檢測缺陷並準確測量表面特性。它還提供了三個可選模塊：高級缺陷檢測、高級特征分析和高級晶圓邊緣監視。變形分析允許對物理或化學處理前後的地形進行比較。同時,動態縫合過程在掃描過程中對地形進行實時縫合,為提供商提供了一種更準確、更高效的獲得3D結果的方法。該單元的緊湊設計需要16.7英寸高度的最小地板空間。它具有雙端口功能，兼容一系列晶圓材料，從8英寸到200毫米。它也適用於陶瓷和矽基板。總而言之，Therma-Probe 420是全面晶圓測試和計量的理想選擇。它提供了準確的三維映射和變形分析，其動態縫合過程確保了結果的一致性和可靠性。要求最小的地板空間和與一系列基板兼容，機器提供無與倫比的性能。