二手 THERMA-WAVE TP 300 #93220 待售

THERMA-WAVE TP 300是一種高精度晶片測試和計量設備，旨在為評估各種晶片材料和工藝提供可靠和準確的數據。它配備了先進的軟件和硬件，提供晶圓過程監控和表征的最高標準。它具有堅固的基於LED的近紅外（NIR）光源,其設計目的是在所有子場中提供卓越的均勻性和光通量,從而能夠精確測量各種晶圓參數,如厚度、平坦度和折射率。該系統配有單元素衍射光學元件（DOE），能夠在近乎可見和紅外區域提供極精確的角度測量。其獨特的設計確保了高分辨率的數據，用於評估在寬波長範圍內的各種過程。TP 300是一個完全自動化的單元，集成了樣本移動，提供高吞吐量和卓越的數據精度。它還提供了實時多站點測量功能,可對多達24個樣本站點進行實時比較測量。此外,集成的圖形用戶界面通過簡化的控制功能、顯示計量結果以及存儲多達1000種配方的能力,促進了高效操作。THERMA-WAVE TP 300憑借其高速對準機、深度傳感器和終端效應器,以及可編程刀具偏移、自動校準功能和帶有實時更新的嵌入式車載軟件等附加功能,提供了卓越的性能和可靠性。就其技術規格而言，該工具的最小波長為350nm，數值孔徑為0.15，可一次測量多達25個測量點，X-Y級精度為10 μ m，可重復性為5 μ m。總體而言,TP 300是一種高度精確的晶圓測試和計量資產,它提供了先進的功能和靈活性,有助於確保產品質量和可靠的數據以進行有效的過程監控。此模型提供了強大的功能以實現最大的性能和精確的測量,使其成為晶圓制造商的理想選擇。