二手 THERMA-WAVE TP 500 #146074 待售
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已售出
ID: 146074
晶圓大小: 1997
Dose monitoring metrology system, 6" to 8"
Specifications:
Upgraded to XP in 2006
Probe and pump lasers replaced: fiber laser
Usage: processed implant wafers
(2) Open cassettes
Handler: EQUIPE robot and controller
IG byte tape drive
SECS II: GEM SECS Ver 2.06
COGNEX 5000 pattern recognition system
Back plane: Eisa Bus
Laser type:
Diode 10mW class IIIB probe laser
Diode 70mW class IIIB pump laser
Ion dose measurements: high dose
Dose range:
Boron: N/A
Phosphorous: 3E14 to 2E16
Arsenic: 1E14 to 2E16
BF2: 2E14 to 2E16
Energy range: 0.5 keV to 200 keV (all species)
TW repeatability: 0.5% 1-sigma TW
Power requirements: 110-220V, 20A
Utilities requirements: CDA 1/4", (2) vacuum 1/4" (stage, robot)
Includes service / operational manual and reference block
1997 vintage.
THERMA-WAVE TP 500是一種晶圓測試和計量系統，旨在表征下一代基材材料。它利用先進的紅外技術闡明了半導體、薄膜等材料的物理和電氣特性。其專用的定制探針可以很容易地沈入晶圓基板的底部，以收集精確的熱映射數據，而對設備的熱預算影響最小。THERMA-WAVE TP500利用熱容量、介電性能、熱結電阻等熱力學特性的測量，在新材料和工藝方法的快速發展中準確確定了試驗晶片的易受傷害特性。它的紅外照相機矩陣提供了高速捕捉圖像的能力，每秒最多可分析1000點。能夠同時記錄多達80項不同的測試,從而可以極準確地收集數據和計量數據,同時減少時間和資源的消耗。溫度差的高分辨率、熱梯度有助於避免材料缺陷造成昂貴的晶圓損失。此外,TP-500的像素可尋址數字輸入選項可確保結果的一致性和準確性,並盡量減少工作量。高級數據分析、同步和報告為用戶提供了有關其設備和流程性能的詳細信息。此外,TP500為用戶提供了廣泛的好處。它與各種基於PC的平臺兼容,可以輕松集成到現有系統中。它快速的在線數據記錄和獲取時間將與數據日誌記錄相關的時間和成本降至最低。它的分析模式可以快速識別結果中的任何弱點或錯誤,並使用戶能夠快速修改其流程或材料以立即減輕這些缺陷或錯誤。總體而言，TP 500是一個強大的晶圓材料測試和計量系統。它可以輕松集成到現有系統中,並能夠在短時間內捕獲最復雜的細節。通過其精確的測量能力和詳細的數據分析，是下一代基材快速發展中材料表征的有力工具。
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