二手 TOHO FLX-2320-S #9229782 待售

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ID: 9229782
Film stress temperature measurement system Laser scanning: Measures stress on reflecting films Statistical Process Control (SPC) Elasticity and linear expansion Water diffusion coefficient in dielectric films Linear regression and stress-temperature / Stress-time gradients Thin film stress with very low measurement noise Observation & quantitative evaluation of stress relaxation Oxide densification Thin film phase transformations and annealing Power on.
TOHO FLX-2320-S是一種晶圓測試和計量設備,提供對半導體晶圓和基板的高度精確的測量。該系統能夠進行各種測試,包括計量、晶圓應力映射、缺陷監測、電阻測量和缺陷分類。它具有一個自動化的XYZ級,可實現精確的晶片對準和定位,其高精度成像光學單元允許以2K分辨率捕獲多達8位圖像。TOHO FLX-2320S設有兩個視覺通道,可同時檢查晶圓的表面和邊緣。每一個通道都有一個從0.5倍到100倍的可調變焦範圍,允許對晶圓的正面和背面進行高度詳細的成像。此外,該機器還包括一套全面的控制和分析軟件,使用戶能夠分析和成像到6um級別的所有缺陷和模式特征。此軟件套件具有強大的圖像處理功能,可以進一步分析缺陷圖像。此外,該工具還配備了一系列高性能數據采集和處理板,能夠快速準確地測量各種晶圓參數。總體而言,FLX 2320-S是半導體行業可靠、準確的晶圓測試和計量資產。其高度精確的成像和控制能力使其成為用於缺陷分析和分類以及測量關鍵晶片參數的高效工具。此外,即使在苛刻的生產環境中,其強大的設計也能確保可靠的操作。強大的分析軟件的加入進一步使用戶能夠從收集到的數據中獲得有意義的見解,從而更好地優化生產過程。
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