二手 TOKYO KEIKI MAC-92CV #9226139 待售
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TOKYO KEIKI MAC-92CV是半導體工業中使用的先進晶圓測試和計量設備。它設計用於測量晶片膜厚度、激光感應應力和其他電氣特性,以及提供過程控制和晶片檢查。系統本身由一個中心泵、高靈敏度壓力傳感器和一個多端口並聯電容壓力計組成。中心泵能運行變速,並能提供78.8 MPa的最大壓力,以高達每分鐘150個循環的速度旋轉。單元中的高靈敏度壓力換能器為低噪聲,可精確測量0.0001MPa內的壓力,而多端口並聯電容壓力計則用於測量晶片膜、晶片應力和其他電氣特性。MAC-92CV配備了先進的控制機器,用戶可以監視和控制工具的所有相關參數,如壓力、速度和溫度;而且還能夠為全面的過程和產品控制進行廣泛的測試。這些測試可用於測量薄膜組成、應力和降解水平以及晶片及其薄膜的附加特性。此外,該資產還可用於晶圓表面映射和晶圓檢驗,以監測產品質量和過程控制。TOKYO KEIKI MAC-92CV的設計具有較高的精度和可重復性,是晶圓測試和計量應用的理想選擇。它極其可靠,易於使用,可用於實驗室和生產環境,並提供出色的測量和結果。
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