二手 TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64 #9374922 待售
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TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在為半導體行業提供準確、可靠的數據和操作。該系統是晶圓測試、計量、缺陷定位和評審的綜合解決方案。Surfcom 590A-64提供卓越的自動機械掃描計量能力。它具有三個方向(X、Y、Z)的八個獨立運動軸。這允許精確的晶圓對準,精度± 0.5 μ m。另外,ScanHead由四個測量傳感器組成,包括X-Y級以正向識別晶圓位置。這樣可以在長達8英寸的基板上實現高精度掃描。TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64具有多種晶圓測試功能,包括光學檢查、電氣測試和機械測試。光學檢測功能通過使用高分辨率CCD攝像頭快速準確地識別缺陷。其他特點還包括通過檢測光強度變化來精確定位晶片上的異物顆粒和劃痕的能力。最後,電氣測試功能使用電子投影儀測量接觸墊和軌跡的有效電阻分布等參數。Surfcom 590A-64還附帶了一個高級缺陷審核單元,它允許用戶快速輕松地查看和記錄晶圓缺陷信息。該機器可存儲多達500個缺陷圖像和文本數據,並為改進缺陷管理提供圖像歷史記錄的持續維護。此外,此工具還可以識別缺陷的潛在根源,並自動建議質量改進方法。總體而言,TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64是一種高度先進的晶圓測試和計量資產,提供卓越的自動機械掃描計量和各種晶圓測試功能。Surfcom 590A-64能夠提供可靠、高精度的數據來支持半導體行業。其先進的缺陷審查模型還確保改進缺陷管理和質量改進。
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