二手 VEECO 9000 #9024202 待售

VEECO 9000是由VEECO Instruments Inc開發的功能強大的晶圓測試和計量設備。它旨在為各種晶圓應用程序提供最高的吞吐量、分辨率、可重復性和準確性。這個系統包括幾個先進的儀器，如晶圓映射顯微鏡、剖面儀、橢圓儀和原子力顯微鏡（AFM）。這些工具能夠對表面拓撲、化學、雜質和缺陷進行詳細分析。該單元的晶圓映射顯微鏡是具有兩個成像采集階段的光學元件：串聯和交叉。此工具可以收集多種不同類型的圖像數據,包括曲面拓撲和3-D曲面輪廓。掃描儀能夠連續掃描直徑150毫米和厚度達4英寸。該階段可用於內聯或橫線掃描,並具有自動樣本對齊功能。Proifolometer是測量納米級地形的有力工具。它能夠以納米精度測量亞微米線的寬度和深度。該機提供了多種操作模式，包括在高垂直分辨率的大表面積上快速掃描的能力。這種工具使用幹涉光學技術來保證精確的測量。橢圓偏振儀測量關鍵晶圓工藝參數的數據，如厚度和地形。它具有針對不同波長的光源自動校準功能，可以測量小至5nm表面的光譜特性。它還可以測量折射率、消光系數、消光角和吸收系數。原子力顯微鏡（AFM）使用掃描探針的組合來測量樣品的原子級表面拓撲和化學性質。該工具能夠以納米精度生成極高分辨率的納米級表面特征圖像。它具有二維掃描頭，可以移動到高達0.5nm的x-y-z分辨率。AFM還配備了各種成像模式，包括力調制成像、掃描不對稱成像、相位成像和敲擊模式成像。除了這些先進的工具外，9000工具還包括一些用於數據分析和監督的額外軟件工具。該資產包括允許輕松設置和訪問數據的用戶界面。模型還可以從這些數據集創建詳細的報告和圖像。VEECO 9000晶圓測試和計量設備對於要求納米級表面分析的高性能和高精度的行業專業人員來說,提供了最高的吞吐量、重復性和準確性。通過組合幾種強大的儀器，它為測量表面拓撲、化學、雜質和缺陷提供了無與倫比的精度水平。從高級成像到詳細的數據收集，9000是各種晶圓應用的最佳解決方案。