二手 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK 8 #9291942 待售
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VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK 8是一種高精度晶圓測試和計量設備,旨在幫助半導體制造商和納米技術研究人員精確測量結構、層和特征到原子尺度。該系統能夠以納米級精度測量晶圓地形、微厚和其他臨界參數。該單元配備了用於幹涉測量的強大光學機器和用於多晶圓檢測的大級。它還有一個集成的自動和可編程探針定位工具與集成的電動顯微鏡目視檢查。利用這種自動化資產,用戶可以將探測器精確定位在樣品的任意位置,從而可以輕松測量各種模具和晶圓幾何形狀的多個位置。自動化模型還允許數據采集速率高達1000 Hz。該設備的高精度和分辨率來自於其專有的幹涉測量技術,該技術利用測量兩束激光之間的光學幹涉。這使得它能夠進行高度精確和準確的測量,這些測量是可重復的,不受環境影響。VEECO DEKTAK 8還具有一系列集成的軟件功能,包括過濾、數據收集和分析工具。它支持各種計量協議,如四點光學厚度、深度圖和主平面輪廓函數,允許用戶收集有關晶圓特征的詳細而準確的信息。它還具有圖形用戶界面(GUI)以簡化操作並增加最終用戶數據分析。總體而言,SLOAN DEKTAK 8是一個通用、精確的晶圓測試和計量系統。利用其自動化和可編程的探針定位單元、幹涉測量技術和集成軟件,它為用戶提供精確測量到原子水平的關鍵特征。
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