二手 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293756643 待售

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT是一種使用基於手寫筆的非接觸法的晶圓測試和計量設備。它旨在表征加工前後的材料，並測量納米級表面地形、表面粗糙度和厚度。VEECO DEKTAK XT利用原子力顯微鏡（Atomic Force Microscopy，AFM）技術，探測探針與表面之間的力，並提供樣品表面的3D地形影像。標準系統提供用於樣品定位的3軸級,標準最大行程為100 × 100 mm,最高速度為0.5 mm/s。垂直執行器可提供高達24.3mm的行進距離,並包括一個表面接觸檢測器,用於精確測量靜止讀數和層狀樣品的厚度。典型分辨率為Z（垂直）方向0.05微米。設備的掃描頭包含一個線性編碼器,使探測器在掃描時能夠在整個樣本中高效準確地移動。掃描頭采用集成的光電容檢測機和無反沖的雙向級步進器，在整個X/Y傳播距離上具有8微米的重復性。該工具包括一臺計算機、顯示器和設備控制器，以及用於控制掃描頭和機械手運動、流和記錄掃描數據以及用於數據分析的軟件。提供可選的校準、自動校準、吞吐量增強和高級測量選項。SLOAN DEKTAK XT極其精確、穩定可靠，用於薄膜厚度和電阻率測量、磨損和腐蝕研究、雙功能表面測量、表面粗糙度、晶圓平坦度和步高研究等多種應用，使其成為任何晶圓測試和計量實驗室的重要組成部分。