二手 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293797519 待售

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體和MEMS器件的精密計量。它提供了先進技術的創新設計和組合，如激光束掃描、電容傳感和自動成像，使其與目前市場上的其他系統脫穎而出。該系統采用最新的激光束掃描技術，在原子水平上工作，對設備特性具有高分辨率和準確性。這一激光技術與叠代電測量和成像相結合，提供了晶圓特性的綜合視圖。VEECO DEKTAK XT還具有一個大的、易於使用的電容傳感筆，能夠精確測量各種晶圓材料的表面拓撲、粗糙度和輪廓信息。這種手寫筆設計還允許自動進行多次測量以提高吞吐量。SLOAN DEKTAK XT還提供了一個集成成像單元，旨在讓用戶能夠快速準確地分析晶圓的表面形態。它提供了樣本的10微米分辨率圖像，可用於計算步高、線寬和隔離特征大小等關鍵設備參數。最後，這臺機器能夠精確地測量晶圓的平坦度到1埃以內的公差。這是使用專有算法實現的,專有算法旨在補償任何曲面或結構缺陷。總之，DEKTAK XT是一種先進的晶圓測試和計量工具，它以激光束掃描、電容感應和自動成像等特征提供原子級的精確測量。此資產非常適合為晶圓測試需求尋找通用可靠解決方案的用戶。