二手 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293812083 待售

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT是提供高精度3D納米尺度表面形狀測量的下一代晶圓測試和計量設備。該系統旨在提高微電子元件大批量制造商的吞吐量，降低生產成本。該單元使用定制的、基於接觸的手寫筆剖面儀進行精確、可重復和可靠的測量。手寫筆輪廓能夠每秒測量500個以上的不同點。測量結果直接取自晶圓表面，可實現高精度和重復性。該機器還提供其自動晶片對齊器（AWA），用於高精度、快速、精確地將晶片放置在正確的位置以進行掃描場測量。AWA設計用於進行實時校正,以確保在連續掃描過程中,手寫筆始終接觸晶片上各個單個模具上的同一表面點。除硬件組件外，該工具還包括各種軟件應用，以方便晶圓測試和計量。例如,它的多層特征測量應用程序可實現高度精確和可重復的測量。資產的自動特征識別（AFR）模型與此應用程序配合使用,以快速準確地檢測晶圓的關鍵特征。該設備還包括高速邊緣檢測和審查（EDR）應用。這一功能使操作員能夠在幾秒鐘內快速查看晶片上的邊緣條件以及高空間分辨率顆粒和汙染物。系統還有一個綜合特征識別/分類（FIC）單元，可以快速識別和分類各種特征類型。VEECO DEKTAK XT機器有助於顯著減少各種應用程序的生產時間和成本。它利用先進的技術和工具快速準確地測量晶片上的納米級特征。其自動對齊和特征識別技術為更快的晶圓測試和計量鋪平了道路。因此，對於希望快速準確測量晶片納米尺度特征的大批量微電子元件制造商來說，這是一個很好的解決方案。