二手 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #9299921 待售

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT是一種晶圓測試和計量設備，對厚度、深度、輪廓和CD等晶圓參數提供高度精確的測量。它設計用於對薄晶片進行非接觸、無損測量。系統無需接觸探針或液體蝕刻即可測量晶片。VEECO DEKTAK XT使用X射線幹涉測量，意味著它計算晶圓表面頂部和底部之間X射線傳播時間的差異。SLOAN DEKTAK XT提供絕對輪廓和步高測量，使其成為各種應用的理想選擇，包括半導體計量、表面紋理分析和平板顯示計量。BRUKER DEKTAK XT具有一個大型800 mm x 600 mm XY掃描儀表,旨在提供最大的晶圓覆蓋範圍。它還配備了能夠實現全10 nm分辨率的高精度Z級。XY掃描儀由三軸伺服控制單元控制，Z級由高速、高分辨率電機驅動。DEKTAK XT還具有真空卡盤，在圖像采集過程中將晶片牢固地固定到位。VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT具有Metumax TM配置文件軟件,可快速準確地獲取配置文件。Metumax TM軟件可以測量尺寸小至0.25納米的功能。配置文件軟件還具有測量後分析工具,可用於比較測量之間的數據集,以及分析在專用應用程序軟件中收集的數據。VEECO DEKTAK XT有一個內置的照相機，在測量時可以用來監視晶圓。相機能夠獲取分辨率高達1024 x 768的圖像。攝像頭還允許操作員存儲配置文件圖像以進行比較和後期處理。SLOAN DEKTAK XT是一種功能強大且高度精確的晶圓測試和計量工具。它非常適合各種應用程序,並提供多種功能和特性。對於任何需要精確測量薄晶圓參數的組織來說，BRUKER DEKTAK XT是一個極好的選擇。