二手 VEECO / DEKTAK 8000 #9328743 待售
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VEECO/DEKTAK 8000是一種晶圓測試和計量設備,設計用於精確測量半導體器件和材料的電氣特性。它提供集成的高精度測試和計量解決方案,以優化工藝產量和制造效率。VEECO 8000使用先進的納米級分析和成像技術,對有圖案的表面進行無損、即時的測量。它集成了精確的力反饋,以實現更好的分辨率、更高的精度讀數和更快的吞吐量。該系統可提供更高質量的結果、更好的產品產量和更低的成本。集成的電動級允許樣品定位精確到0.05微米以內。內置的可設置基板映射功能和自動對齊能力使DEKTAK 8000與其他系統脫穎而出。大舞臺面積(400 x 400 mm)容納各種晶圓尺寸,晶圓座組裝選項為高吞吐量生產和自動化提供了多種途徑。該單元內基於折射的光學元件可實現0.07 µm至>400 µm的成像。在不同高度和兩個光軸上查看樣品表面地形的能力促進了視覺的範圍。這些測量可用於檢測金屬和介電層的表面完整性。8000還提供多種成像功能,包括延時研究和共聚焦顯微鏡。集成軟件提供實時測量數據分析,允許簡潔的統計過程控制,以增強過程監控和性能。總體而言,VEECO/DEKTAK 8000是一種集成晶圓測試和計量機器,對半導體器件和材料的電氣特性提供高精度測量。它具有自動對準和電動級、0.07 µm至>400 µm的光學分辨率以及用於確定表面完整性的高級成像功能。綜合軟件還提供數據實時分析,以加強流程監測和性能。
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